無塵室(Clean Room)是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣和細菌等污染物排除，并將室內的溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而特別設計的房間。使用高效過濾器，就可以使無塵室內的浮游微粒子濃度達到零水平，保證產品的質量。實際的生產現場，由于作業者、機器和周邊機械的發塵及基板運送時所接觸的零件材料的發塵等，在生產產品周邊揚起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。那么，無塵室內該如何避免這種微粒子污染呢？可以從以下幾個方面入手：
